陶瓷硼扩散源产品

陶瓷片状硼扩散源产品为氮化硼(BN)系陶瓷,白色、绝缘、六方晶体,耐高温、耐腐蚀,在半导体生产中作为硼扩散源使用。

产品性能指标:

BN/wt%

>99

FeNaCaMgCu分别含量/PPm

<10

C含量/ PPm

<600

密度/g.cm-3

1.9~2.1

热膨胀系数/×10-6

0.5~1

工作温度/

1050-1250

使用寿命/

3-6

毒性

产品尺寸:

     Φ40×1.5mmΦ55×1.5mmΦ75×1.5mm

     可按用户要求规格生产供货。

诺宝科技