碳化硅多孔陶瓷吸盘

特点:

1,碳化硅陶瓷底座(低膨胀、高导热,高弹性模量)

      根据工艺要求可选择氧化铝陶瓷基座、金属基座

2,多孔碳化硅陶瓷吸附平面(低膨胀、高耐磨性)

3,高稳定性、轻量化结构设计

4,优异的尺寸稳定性

5,优异的耐化学腐蚀性

6,超高平面度,低至1μm

7,可调整孔隙结构及孔隙率满足不同工艺要求

    (孔径10μm-200μm、孔隙率30%-70%

   

        碳化硅底座吸盘                     

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